至纯科技(603690):IC设备领涨,炉管、光伏制绒清洗等新业务快速拓展

公告:2022营业收入30.5亿,同比增长46.32％,主要系集成电路业务增长;扣除非经常性损益后的归母净利润2.85亿元(yoy+76％),主要系公司业务增长所致的利润增加。

   23Q1实现营收7.84亿元(yoy+43％),归母净利润0.63亿元(yoy+186％),扣非归母净利润0.58亿元(yoy+49％)。22Q4及23Q1营收及归母净利润符合申万预期。

   23Q1营收及订单均实现高增。23Q1实现营收7.84亿元(yoy+43％);毛利率34％,同比下降1.3pct,随着湿法设备规模销售,毛利率有望回升;合同负债3.03亿元,较22年末2.70亿元有所上升。23Q1经营性现金流量净额2.07亿元,近年首次转正。

   至纯科技目前80％业务在半导体行业,半导体湿法制程设备新增订单快速增长,湿法设备订单中高阶设备占比6成,积累行业优质客户。2019-2022年,新增订单分别为14/20/32/36/42亿元(yoy+30.6％);湿法设备板块,公司2015年起研发,2019-2022年湿法设备新增订单分别为1.7/5.3/11.2/18亿元(yoy+60.7％),积累了中芯国际、合肥长鑫、上海华虹等集成电路一线客户群。2021年,首批次单片湿法设备已交付并顺利通过验证,目前能满足28nm全部湿法工艺需求,在14nm以下制程有4台订单。

   除上海紫竹本部及研发中心外,在江苏启东建有设备研发制造基地(其中少量湿法制程设备在日本工厂),在安徽合肥设有晶圆及部件再生服务中心,在浙江海宁设有精密制造基地。目前湿法制程设备产能扩至150台,"单片湿法工艺模块、核心零部件研发及产业化项目"将成为公司高阶制程单片湿法装备及零部件研发与产业化基地,形成高阶制程单片湿法模块年产100套,各类零部件年产近2000套。和"至纯北方半导体研发项目"将实现年产系统集成及支持设备30套、半导体湿法设备15台、半导体零部件2,610套的生产能力。"启东半导体装备产业化基地二期项目"研发并量产炉管与涂胶显影等集成电路设备、光伏制绒清洗设备等泛半导体工艺设备,布局新品类及新应用领域,项目投资额8亿,将形成年产炉管、涂胶显影等集成电路设备50套,光伏工艺设备120套,面板制程设备10套,系统集成及工艺设备逾3千套,配套零部件逾3万套,预计年收入12.1亿元。

   部件材料与专业服务涵盖设备零部件的供应、大宗气站服务、部件清洗服务、晶圆再生服务、晶圆工厂驻厂服务等。2021年以来合肥晶圆再生项目已正式量产爬坡,是国内首条12英寸晶圆再生产线,首条部件清洗项目为国内首条完整阳极产线,年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生。

   新增盈利预测,维持"买入"评级。维持2023/24年归母净利润预测5.01/6.45亿元,新增2025年预测7.34亿元,2023PE27X,维持买入评级。

   风险提示:清洗设备订单不及预期;新产能不及预期;投资失败或亏损风险。